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Ток Межмолекулярного Взаимодействия
Денис Вячеславович Шиловский
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Наноматериалы и наноустройства в радиоэлектронике
В. Д. Казаков
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Основы технологии источников оптического излучения
Светлана Анатольевна Микаева и др.
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Нанотехнологии, наноматериалы, наноэлектроника, нанофотоника в радиоэлектронике
В. Д. Казаков
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Электро- и оптические свойства диэлектриков
В. Д. Казаков
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Физические основы электроники и наноэлектроники
А. Л. Тимофеев
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Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. Учебное пособие для вузов
В. Н. Лозовский и др.
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Основы нано- и функциональной электроники. Учебное пособие для СПО
Ю. А. Смирнов и др.
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Труды Физико-технологического института. Том 28. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование
Сборник статей
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Проведение научных экспериментов в наноинженерии
В. А. Шахнов и др.
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Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Ю. Б. Цветков
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Вакуумные системы источников синхротронного излучения
А. Б. Беркин и др.
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Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
В. Ю. Васильев
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Базовые технологии микро- и наноэлектроники
В. М. Воротынцев и др.
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Физические основы нанотехнологий и наноматериалы
Виталий Смирнов
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Физика полупроводниковых приборов
Виталий Смирнов
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Технология интегральных микросхем
Виталий Смирнов
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Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники
А. Н. Игнатов и др.
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Введение в нанотехнологии и наноэлектронику
В. А. Галочкин
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Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника
Виталий Смирнов
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Электровакуумные и газоразрядные приборы
Л. И. Лисицына
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Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
В. Ю. Васильев
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Специальные главы наноэлектроники
В. П. Драгунов и др.
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Электроника и наноэлектроника. Введение в направление
Хрестоматия
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