Наноэлектроника

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Строение атома и элементы квантовой физикиА. Б. Колпачёв и др.
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Ток Межмолекулярного ВзаимодействияДенис Вячеславович Шиловский
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Наноматериалы и наноустройства в радиоэлектроникеВ. Д. Казаков
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Основы технологии источников оптического излученияСветлана Анатольевна Микаева и др.
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Нанотехнологии, наноматериалы, наноэлектроника, нанофотоника в радиоэлектроникеВ. Д. Казаков
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Электро- и оптические свойства диэлектриковВ. Д. Казаков
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Физические основы электроники и наноэлектроникиА. Л. Тимофеев
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Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. Учебное пособие для вузовВ. Н. Лозовский и др.
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Основы нано- и функциональной электроники. Учебное пособие для СПОЮ. А. Смирнов и др.
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Труды Физико-технологического института. Том 28. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование
Сборник статей
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Проведение научных экспериментов в наноинженерииВ. А. Шахнов и др.
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Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2Ю. Б. Цветков
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Вакуумные системы источников синхротронного излученияА. Б. Беркин и др.
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Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхемВ. Ю. Васильев
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Базовые технологии микро- и наноэлектроникиВ. М. Воротынцев и др.
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Физические основы нанотехнологий и наноматериалыВиталий Смирнов
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Физика полупроводниковых приборовВиталий Смирнов
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Технология интегральных микросхемВиталий Смирнов
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Химико-технологические основы микро- и наноэлектроникиА. Н. Игнатов и др.
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Введение в нанотехнологии и наноэлектроникуВ. А. Галочкин
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Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техникаВиталий Смирнов
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Электровакуумные и газоразрядные приборыЛ. И. Лисицына
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Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроникиВ. Ю. Васильев
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Специальные главы наноэлектроникиВ. П. Драгунов и др.
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