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В. Ю. Васильев
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2023
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
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2022
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
€
1,83
2019
Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
€
1,58
Современное производство изделий микроэлектроники
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1,31
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