Микромеханика

Механика и теория относительности. Задачи семинарских занятий с решениями. Учебное пособие для вузов

Микромеханические инерциальные датчики

Физические основы нанотехнологий и наноматериалы

Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника

Технологии производства микродеталей

Физические и математические модели микромеханики

Теоретическая механика и сопротивление материалов: компьютерный практикум

Модельная нерелятивистская квантовая механика. Размышления

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники