Основной контент книги Формирование функциональных слоев
TextPDF
Umfang 92 seiten
2020 Jahr
Формирование функциональных слоев
Autor
Юрий Панфилов
€1,71
Über das Buch
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Genres und Tags
Hinterlassen Sie eine Bewertung
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch «Формирование функциональных слоев» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
27 Juni 2023Schreibdatum:
2020Umfang:
92 S. ISBN:
978-5-7038-5350-4Gesamtgröße:
11 МБGesamtanzahl der Seiten:
92Rechteinhaber:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)