Nur auf LitRes lesen

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

Основной контент книги Формирование функциональных слоев
Формирование функциональных слоев
ТекстTextPDF

Umfang 92 seiten

2020 Jahr

0+

Формирование функциональных слоев

Nur auf LitRes lesen

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

€1,71

Über das Buch

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

Hinterlassen Sie eine Bewertung

Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch «Формирование функциональных слоев» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
27 Juni 2023
Schreibdatum:
2020
Umfang:
92 S.
ISBN:
978-5-7038-5350-4
Gesamtgröße:
11 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
92
Rechteinhaber:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Mit diesem Buch lesen Leute