Nur auf LitRes lesen

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

Основной контент книги Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
ТекстTextPDF

Umfang 125 seiten

2018 Jahr

0+

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Учебное пособие
Nur auf LitRes lesen

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

€1,34

Über das Buch

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Hinterlassen Sie eine Bewertung

Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
21 Februar 2024
Schreibdatum:
2018
Umfang:
125 S.
ISBN:
978-5-7038-4864-7
Gesamtgröße:
6.0 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
125
Rechteinhaber:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Mit diesem Buch lesen Leute