Основной контент книги Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
TextPDF
Umfang 125 seiten
2018 Jahr
€1,34
Über das Buch
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Hinterlassen Sie eine Bewertung
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
21 Februar 2024Schreibdatum:
2018Umfang:
125 S. ISBN:
978-5-7038-4864-7Gesamtgröße:
6.0 МБGesamtanzahl der Seiten:
125Rechteinhaber:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)