Разработка датчиков расхода жидкости и газа на основе микросенсора теплового потока

Учебное пособие посвящено проблемам разработки и создания датчиков расхода жидкости и газа на основе микросенсора теплового потока. Изложение материала ведется на примере конкретных разработок датчиков расхода, выполненных недавно в НПО Автоматики имени академика Н. А. Семихатова. Описана как разработанная технология изготовления датчиков расхода, так и предлагаются альтернативные решения. Особое внимание уделено методике испытаний опытных образцов датчиков. Обсуждаются основные результаты испытаний. Предназначено для магистрантов и аспирантов физического и технических направлений, углубленно специализирующихся в областях теплофизики и микроэлектроники. Будет полезно специалистам в области разработки датчиков расхода, преподавателям и научным сотрудникам.