Основной контент книги Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
TextPDF
Umfang 51 seite
2006 Jahr
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
€1,13
Über das Buch
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.
Hinterlassen Sie eine Bewertung
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch Н. В. Макушиной «Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
16 Januar 2016Schreibdatum:
2006Umfang:
51 S. ISBN:
5-7038-2926-7Gesamtgröße:
2.4 МБGesamtanzahl der Seiten:
51Rechteinhaber:
МГТУ им. Н.Э. Баумана