Основной контент книги Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Text PDF
Umfang 69 seiten
2013 Jahr
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
€1,28
Über das Buch
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
16 Januar 2016Schreibdatum:
2013Umfang:
69 S. ISBN:
978-5-7038-3729-0Gesamtgröße:
2.9 МБGesamtanzahl der Seiten:
69Rechteinhaber:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
