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Основной контент книги Микроэлектромеханика
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Umfang 121 seite

2016 Jahr

0+

Микроэлектромеханика

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Über das Buch

Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.

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Altersbeschränkung:
0+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
25 April 2018
Schreibdatum:
2016
Umfang:
121 S.
ISBN:
978-5-7782-2901-3
Gesamtgröße:
1.8 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
121
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