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Основной контент книги Ионно-плазменная обработка материалов
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Umfang 181 seite

2008 Jahr

0+

Ионно-плазменная обработка материалов

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€6,27

Über das Buch

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

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Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова «Ионно-плазменная обработка материалов» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
28 März 2018
Schreibdatum:
2008
Umfang:
181 S.
Gesamtgröße:
3.2 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
181
Rechteinhaber:
МИСиС
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