Читайте только на Литрес

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

Основной контент книги Ионно-плазменная обработка материалов
Text PDF

Buchdauer 181 Seiten

2008 Jahr

0+

Ионно-плазменная обработка материалов

Читайте только на Литрес

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

€7,20

Über das Buch

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.

Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Bewertung zu hinterlassen
Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова «Ионно-плазменная обработка материалов» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
28 März 2018
Schreibdatum:
2008
Umfang:
181 S.
Gesamtgröße:
3.2 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
181
Rechteinhaber:
МИСиС
Audio
Средний рейтинг 4,5 на основе 58 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 885 оценок
Entwurf
Средний рейтинг 4,8 на основе 340 оценок
Text
Средний рейтинг 4,9 на основе 210 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 964 оценок
Text, audioformat verfügbar
Средний рейтинг 4,8 на основе 1201 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 37 оценок
Text, audioformat verfügbar
Средний рейтинг 4,7 на основе 7060 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,8 на основе 5114 оценок