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Основной контент книги Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Text PDF

Umfang 157 Seiten

2008 Jahr

0+

Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Autoren
Аскер Кушхов,
Геннадий Кузнецов
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Buch auf Russisch
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Über das Buch

В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.

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Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова u.a. «Элионная технология в микро- и наноиндустрии» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
28 März 2018
Datum der Schreibbeendigung:
2008
Umfang:
157 S.
Gesamtgröße:
9.7 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
157
Rechteinhaber:
МИСиС