TextPDFUmfang 157 seiten
2008 Jahr
Элионная технология в микро- и наноиндустрии
5,61 €
Über das Buch
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
Genres und Tags
Hinterlassen Sie eine Bewertung
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Элионная технология в микро- и наноиндустрии» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
28 März 2018Schreibdatum:
2008Umfang:
157 S. Gesamtgröße:
9.7 МБGesamtanzahl der Seiten:
157Rechteinhaber:
МИСиС
