Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Text PDF
Umfang 142 seiten
2007 Jahr
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
€5,14
Über das Buch
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Genres und Tags
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
0+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
29 März 2018Schreibdatum:
2007Umfang:
142 S. Gesamtgröße:
18 МБGesamtanzahl der Seiten:
142Rechteinhaber:
МИСиС