Читайте только на Литрес

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Buchdauer 142 Seiten

2007 Jahr

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Autoren

Аскер Кушхов,

Геннадий Кузнецов

PDF

Bewertung hinterlassen

Buch auf Russisch

Читайте только на Литрес

Das Buch kann nicht als Datei heruntergeladen werden, kann aber in unserer App oder online auf der Website gelesen werden.

€5,95

Über das Buch

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.

Genres und Tags

ElektronikWorkshops

Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Bewertung zu hinterlassen

Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.

Altersbeschränkung:

Veröffentlichungsdatum auf Litres:

29 März 2018

Schreibdatum:

2007

Umfang:

142 S.

Gesamtgröße:

18 МБ

Gesamtanzahl der Seiten:

142

Rechteinhaber: