Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Umfang 142 Seiten

2007 Jahr

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Autoren

Аскер Кушхов,

Геннадий Кузнецов

PDF

0,0

Bewerten Sie das Buch

Bewertung hinterlassen

Buch auf Russisch

€6,06

Über das Buch

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.

Genres und Tags

Elektronik

Workshops

Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Bewertung zu hinterlassen

Buch Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.

Altersbeschränkung:

Veröffentlichungsdatum auf Litres:

29 März 2018

Schreibdatum:

2007

Umfang:

142 S.

Gesamtgröße:

18 МБ

Gesamtanzahl der Seiten:

142

Rechteinhaber: