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Основной контент книги Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

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Umfang 64 seiten

Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Autoren

А. Т. Каменихин,

А. М. Базиненков

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Über das Buch

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.

Genres und Tags

Arbeitshilfen

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Altersbeschränkung:

Veröffentlichungsdatum auf Litres:

16 Februar 2024

Umfang:

64 S.

ISBN:

978-5-7038-4675-9

Gesamtgröße:

1.8 МБ

Gesamtanzahl der Seiten:

Rechteinhaber:

МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)