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Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
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Umfang 285 seiten

2013 Jahr

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

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Über das Buch

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации... 

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Buch А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина et al. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
12+
Veröffentlichungsdatum auf Litres:
31 Juli 2014
Schreibdatum:
2013
Umfang:
285 S.
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Gesamtgröße:
5.2 МБ
Gesamtanzahl der Seiten:
285
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