Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Text PDF
Umfang 285 seiten
2013 Jahr
Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Teil der Serie «Нанотехнологии»
Nicht zum Verkauf
Über das Buch
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации... Weiter
Genres und Tags
Teil der Serie "Нанотехнологии"
Einloggen, um das Buch zu bewerten und eine Rezension zu hinterlassen
Buch А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина et al. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — online auf der Website lesen. Hinterlassen Sie Kommentare und Bewertungen, stimmen Sie für Ihre Favoriten.
Altersbeschränkung:
12+Veröffentlichungsdatum auf Litres:
31 Juli 2014Schreibdatum:
2013Umfang:
285 S. ISBN:
978-5-9963-2129-2Gesamtgröße:
5.2 МБGesamtanzahl der Seiten:
285Rechteinhaber:
Лаборатория знаний