Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники

Интереснейшая книга для специалистов. Много подробной информации по современному оборудованию полупроводниковой индустрии, и физических принципах работы, также достоинство книги в том, что к каждой теме приведены множество ссылок на соответствующую литературу.