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Ю. Б. Цветков
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Проектирование учебников для инженерного образования
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Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
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Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
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2011
Методы литографии в наноинженерии
€
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2009
Физические основы микро- и нанотехнологий
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